Fa'asologa o Masini Etching Plasma

O mea faigaluega ICP e masani ona aofia ai vaega e fa: mua'i-po'o gaogao, potu va'ava'ai, faiga fa'akasa ma masini fa'amama.

(1) Potu -a'o le'i gaogao

O le galuega a le potu muamua-o le fa'amautinoaina o le potu etching o lo'o tausia i se tulaga fa'amama, e le a'afia i le si'osi'omaga i fafo (e pei o le pefu, ausa vai), ma fa'aesea kasa mata'utia mai le potu mama. E aofia ai se ufiufi, se manipulator, se masini feaveaʻi, se faitotoa tuʻufua, ma isi.

(2) potu togitogi

O le potu etching o le fausaga autu o meafaigaluega etching ICP. E i ai se aafiaga tuusao i le fua o le etching, le verticality o le etching, ma le talatala. O vaega autu o le potu etching o: eletise pito i luga, ICP leitio alavai iunite, RF leitio laina eletise, faiga eletise maualalo, faiga pulea vevela, ma isi.

(3) Faiga tu'uina atu kesi

O le faʻaogaina o le kesi o le tuʻuina atu lea o kasa etching eseese i le potu etching, ma pulea saʻo le tafe o le kesi ma tafe i totonu o le faʻatonuga o le mamafa (PC) ma le masini faʻafefe (MFC). O le faʻaogaina o le kesi e aofia ai se fagu kesi puna, se paipa tuʻuina atu kesi, se faiga faʻatonutonu, se mea faʻafefiloi, ma isi.

(4) Vacuum System
E lua faiga fa'amama, tasi mo le -po'o fa'ato'aga ma le isi mo le potu togi. O le fale -a'o le'i gaogao e aveese e se pamu masini. Se'i vagana ua o'o atu le maualuga o le gaogao i totonu-a'o le'i o'o i le tau fa'atulagaina e mafai ai ona tatala le faitoto'a tu'ufua e fa'asolo ai le fa'amea. O le gaogao i totonu o le potu etching e saunia e se pamu masini ma se pamu mole. O kasa e maua mai i le tali atu i totonu o le potu etching o loʻo aveese foi e le masini masini.