Fa'atatauga Fa'apitoa o Fa'amama Plasma

O masini fa'amama/etching plasma e gaosia ai le plasma e ala i le tu'uina o ni eletise se lua i totonu o se koneteina fa'amaufa'ailoga e fausia ai se eletise eletise. E fa'aaogaina se pamu vacuum e fa'amautu ai se tulaga fa'apitoa. A'o fa'atupula'ia le kesi, ua fa'atupula'ia fo'i le mamao i le va o mole mole ma le fe'avea'i saoloto o molela'au po'o ions. I lalo o le faatosinaga a le eletise, o nei ion e fetoʻai ma fausia ai le plasma. O nei ion e sili ona gaoioi, ma lava le malosi e motusia toetoe lava o fusi vailaʻau uma, faʻaosoina gaioiga faʻamaʻi i luga o soʻo se mea faʻaalia. O plasma kasa eseese e eseese mea tau kemikolo. Mo se faʻataʻitaʻiga, o le plasma okesene e maualuga le faʻamaʻiina, e mafai ona faʻamaʻiina le photoresist e maua ai le kesi, ma maua ai se faʻamamaina. O le plasma gas corrosive e sili ona lelei le anisotropy, lea e fetaui ma manaʻoga o le etching. O togafitiga o le plasma e maua ai le susulu, o le mea lea ua faaigoa ai le glow discharge.
Ole faiga ole fa'amamāina ole plasma e fa'alagolago tele ile "fa'agaoioia" o vaega o lo'o galue i totonu ole plasma e fa'amalo ai le palapala. E tusa ai ma le faiga o le tali atu, o le faamamaina o le plasma e masani lava ona aofia ai le faagasologa o loʻo i lalo: o kasa inorganic e faʻaosofia i se tulaga plasma; o mea kasa o lo'o fa'afefeteina i luga o le mea malo; o vaega fa'afefeteina e tali atu i molela'au i luga o le mea malo e fausia ai mole mole oloa; e pala le mole o oloa i le vaega o le kesi; ma o toega tali e aveese mai luga.

O le mea pito sili ona taua o le faʻamamaina o le plasma tekinolosi e mafai ona togafitia soʻo se ituaiga substrate, e aofia ai metala, semiconductors, oxides, ma le tele o mea polymer e pei ole polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy, ma e oo lava i le polytetrafluoroethylene. E mafai ona faʻamama uma le luga atoa ma vaega faʻapitoa, faʻapea foʻi ma fausaga faʻalavelave.